Kouch evaporasyon: Lè yo chofe ak evapore yon sèten sibstans pou depoze li sou sifas solid la, yo rele sa kouch evaporasyon.Metòd sa a te premye pwopoze pa M. Faraday nan 1857, epi li te vin youn nan yo
souvan itilize teknik kouch nan tan modèn.Estrikti ekipman kouch evaporasyon an montre nan Figi 1.
Sibstans ki evapore tankou metal, konpoze, elatriye yo mete nan yon kreze oswa kwoke sou yon fil cho kòm sous la evaporasyon, epi yo mete pyès la yo dwe plake, tankou metal, seramik, plastik ak lòt substrats. kreze.Apre yo fin evakye sistèm nan nan yon vakyòm segondè, yo chofe crucible a pou evapore sa ki ladan yo.Atòm yo oswa molekil sibstans ki evapore yo depoze sou sifas substra a nan yon fason kondanse.Epesè fim nan ka varye ant dè santèn de angstroms ak plizyè mikron.Se epesè nan fim nan detèmine pa pousantaj la evaporasyon ak tan nan sous la evaporasyon (oswa kantite lajan an loading), epi li gen rapò ak distans ki genyen ant sous la ak substra a.Pou kouch gwo zòn, yo souvan itilize yon substra wotasyon oswa plizyè sous evaporasyon pou asire inifòmite nan epesè fim nan.Distans ki soti nan sous evaporasyon an nan substra a ta dwe mwens pase chemen an gratis nan molekil vapè nan gaz rezidyèl yo anpeche kolizyon nan molekil vapè ak molekil gaz rezidyèl soti nan lakòz efè chimik.Enèji sinetik mwayèn nan molekil vapè se sou 0.1 a 0.2 elèktron vòlt.
Gen twa kalite sous evaporasyon.
①Rezistans chofaj sous: Sèvi ak metal refractory tankou tengstèn ak Tantal pou fè papye bato oswa filaman, epi aplike kouran elektrik pou chofe sibstans ki evapore anwo a oswa nan kreze a (Figi 1 [Dyagram chema ekipman kouch evaporasyon] kouch vakyòm) Chofaj rezistans. se sous pwensipalman itilize pou evapore materyèl tankou Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni;
②Sous chofaj endiksyon segondè-frekans: sèvi ak kouran endiksyon wo-frekans pou chofe kreze a ak materyèl evaporasyon;
③Electron sous chofaj gwo bout bwa: aplikab Pou materyèl ki gen pi wo tanperati evaporasyon (pa pi ba pase 2000 [618-1]), materyèl la vaporize pa bonbade materyèl la ak reyon elektwon.
Konpare ak lòt metòd kouch vakyòm, kouch evaporatif gen yon pousantaj depo ki pi wo, epi li ka kouvwi ak fim konpoze elemantè ak ki pa tèmik dekonpoze.
Yo nan lòd yo depoze yon fim kristal sèl-wo pite, epitaksi molekilè gwo bout bwa ka itilize.Aparèy epitaksi molekilè gwo bout bwa pou grandi kouch kristal sèl dope GaAlAs yo montre nan Figi 2 [Dyagram molekilè epitaksi aparèy molekilè kouch vakyòm].Se gwo founo dife a jè ekipe ak yon sous molekilè gwo bout bwa.Lè li chofe nan yon sèten tanperati anba vakyòm ultra-segondè, eleman yo nan gwo founo dife a ap jete nan substra a nan yon kouran molekilè ki tankou gwo bout bwa.Substra a chofe nan yon sèten tanperati, molekil yo depoze sou substra a ka imigre, ak kristal yo grandi nan lòd lasi kristal substra a.Epitaksi gwo bout bwa molekilè ka itilize pou
jwenn yon fim kristal sèl-wo pite konpoze ak rapò esteyyometrik ki nesesè yo.Fim nan ap grandi pi dousman Vitès la ka kontwole nan 1 sèl kouch / sec.Lè w kontwole deflòp la, fim nan yon sèl kristal ak konpozisyon ki nesesè yo ak estrikti ka fèt avèk presizyon.Epitaksi gwo bout bwa molekilè lajman itilize pou fabrike divès kalite aparèy optik entegre ak divès kalite fim estrikti superlattice.
Lè poste: 31-Jul-2021