Sputtering Coating Lè patikil ki gen gwo enèji bonbade sifas solid la, patikil yo sou sifas solid la ka jwenn enèji ak chape sifas yo dwe depoze sou substra a.Sputtering fenomèn yo te kòmanse itilize nan teknoloji kouch nan 1870, ak piti piti itilize nan pwodiksyon endistriyèl apre 1930 akòz ogmantasyon nan pousantaj depo.Ekipman sputtering de poto ki itilize souvan yo montre nan Figi 3 [Dyagram Schematic de sputtering poto kouch vakyòm].Anjeneral materyèl la dwe depoze nan yon plak-yon sib, ki se fiks sou katod la.Substra a mete sou anod la fè fas a sifas sib la, yon kèk santimèt lwen sib la.Apre yo fin ponpe sistèm lan nan yon vakyòm segondè, li ranpli ak 10 ~ 1 Pa gaz (anjeneral agon), epi yo aplike yon vòltaj plizyè mil vòlt ant katod la ak anod la, epi yo pwodui yon egzeyat lumineux ant de elektwòd yo. .Iyon pozitif ki te pwodwi pa egzeyat la vole nan katod la anba aksyon an nan yon jaden elektrik epi fè kolizyon ak atòm yo sou sifas sib la.Atòm yo sib ki chape soti nan sifas sib la akòz kolizyon an yo rele atòm sputtering, ak enèji yo se nan seri a nan 1 a dè dizèn de elèktron vòlt.Atòm yo sputtered yo depoze sou sifas la nan substra a yo fòme yon fim.Kontrèman ak kouch evaporasyon, kouch sputter pa limite pa pwen k ap fonn nan materyèl la fim, epi li ka sputter sibstans ki refractory tankou W, Ta, C, Mo, WC, TiC, elatriye. Fim nan konpoze sputtering ka sputtered pa sputtering reyaktif metòd, se sa ki, gaz la reyaktif (O, N, HS, CH, elatriye) se
ajoute nan gaz Ar a, ak gaz reyaktif la ak iyon li yo reyaji ak atòm sib la oswa atòm nan sputtered pou fòme yon konpoze (tankou oksid, nitwojèn) Konpoze, elatriye) epi depoze sou substra a.Yon metòd sputtering segondè-frekans ka itilize pou depoze fim nan posibilite.Substra a monte sou elektwòd ki baze sou tè a, epi izolasyon sib la monte sou elektwòd opoze a.Yon bout nan ekipman pou pouvwa segondè-frekans la chita, epi yon bout konekte ak yon elektwòd ekipe ak yon sib izolasyon atravè yon rezo matche ak yon kondansateur bloke DC.Apre chanje sou ekipman pou pouvwa segondè-frekans lan, vòltaj la wo-frekans kontinyèlman chanje polarite li yo.Elektwon yo ak iyon pozitif nan plasma a frape sib la posibilite pandan sik mwatye pozitif ak sik mwatye negatif nan vòltaj la, respektivman.Depi mobilite elèktron pi wo pase iyon pozitif yo, sifas sib izolasyon an chaje negatif.Lè yo rive nan ekilib dinamik la, sib la se nan yon potansyèl patipri negatif, se konsa ke iyon yo pozitif sputtering sou sib la ap kontinye.Itilizasyon magnetron sputtering ka ogmante pousantaj depo a pa prèske yon lòd nan grandè konpare ak sputtering ki pa mayetron.
Lè poste: 31-Jul-2021